纯度：3N/4N/4N5

包装规格：10KG/20KG/40KG的DOT-3AA气瓶

六氟丁二烯又称全氟丁二烯，最初合成出来是作为聚合物的单体，但是其聚合物的性能不佳，没有得到进一步的研究和应用。近年对六氟丁二烯的应用研究则主要集中在它作为电子蚀刻气体上。

应用于半导体芯片的干法刻蚀气。