纯度：4N/5N

包装规格：40L

乙硅烷是一种无机化合物，化学式为H₆Si₂，在常温常压下为无色透明气体，具有刺激性气味。

乙硅烷是半导体产业重要的硅源气体。目前应用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相淀积。