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五氟化砷

纯度:3N

包装规格:25KG/50KG

五氟化砷,是砷元素和氟元素形成的一种无机化合物,化学式为AsF5

作氟化剂用在离子移植中。可用于某些六氟砷酸盐的合成。高纯品用三氧化二砷直接氟化可制得,在微电子工业中用作砷离子注入剂

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