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四氟化碳

纯度:5N

包装规格:8L/40L//44L/47L

四氟化碳,又名四氟甲烷,常温常压下为无色气体,不溶于水,溶于苯和氯仿,主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。

硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂。

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