纯度：5N

包装规格： 8L/10L/40L

六氟乙烷，又称全氟乙烷，是一种有机化合物，常温常压下为无色气体，主要用作绝缘气、等离子蚀刻剂,、高介电强度冷却剂等。

电子级高纯六氟乙烷主要在半导体器件制造过程中，作为蚀刻剂、化学气相沉积（CVD）后的腔体清洗剂等使用，同时也可作为高介电强度制冷剂和电气设备的气体绝缘介质使用。