纯度：5N7/6N

包装规格：磷烷

磷烷别名磷化氢，是一种无机化合物，无色、剧毒、易燃的储存于钢瓶内的液化压缩气体。

是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源，同时 磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。