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二氯氢硅

纯度:3N/电阻率≥400ohm·cm

包装规格:44L

二氯氢硅是一种有机化学药品,无色,剧毒,腐蚀性,易燃烧的液化气体,带有刺激性的盐酸味,令人窒息。

半导体外延和化学气相沉积工艺中的硅源气体。有机硅化合物的生产。制作大规模集成电路所必需的优质硅源

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